等離子清洗機(jī)采用氣體作為清洗介質(zhì),有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對被清洗物帶來的二次污染。該機(jī)外接一臺真空泵,工作時(shí)清洗腔中的等離子體與清洗物的表面污染物發(fā)生反應(yīng)并灰化,短時(shí)間的清洗就可以使有機(jī)污染物被清洗掉,同時(shí)污染物被真空泵抽走,其清洗程度達(dá)到分子級。
等離子清洗器除了具有超清洗功能外,在特定條件下還可根據(jù)需要改變某些材料表面的性能,等離子體作用于材料表面,使表面分子的化學(xué)鍵發(fā)生重組,形成新的表面特性。對某些有特殊用途的材料,在超清洗過程中等離子清洗器的輝光放電不但加強(qiáng)了這些材料的粘附性、相容性和浸潤性,并可消毒和殺菌。等離子清洗器廣泛應(yīng)用于光學(xué)、光電子學(xué)、電子學(xué)、材料科學(xué)、生命科學(xué)、高分子科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域。
等離子清洗機(jī)的應(yīng)用,起源于20世紀(jì)初,隨著高科技產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,其應(yīng)用越來越廣,目前已在眾多高科技領(lǐng)域中,居于關(guān)鍵技術(shù)的地位,等離子清洗技術(shù)對產(chǎn)業(yè)經(jīng)濟(jì)和人類文明影響大,電子資訊工業(yè),尤其是半導(dǎo)體業(yè)與光電工業(yè)。
超聲波清洗機(jī)原理主要是通過換能器,將功率超聲頻源的聲能轉(zhuǎn)換成機(jī)械振動,通過清洗槽壁將超聲波輻射到槽子中的清洗液。由于受到超聲波的輻射,使槽內(nèi)液體中的微氣泡能夠在聲波的作用下從而保持振動。破壞污物與清洗件表面的吸附,引起污物層的疲勞破壞而被駁離,氣體型氣泡的振動對固體表面進(jìn)行擦洗。它利用的是液體中超聲波的空化效應(yīng)對物體表面污染物進(jìn)行破壞撞擊,有的應(yīng)用還需輔助化學(xué)清洗劑,從而達(dá)到清洗目的。
所以當(dāng)需要對精密產(chǎn)品或者不適合液體清洗產(chǎn)品進(jìn)行清洗時(shí)推薦微波等離子清洗機(jī),而允許液體清洗的應(yīng)用則可以權(quán)衡考慮是選擇超聲波清洗機(jī)還是等離子清洗機(jī)。有的工藝應(yīng)用甚至是前一工段進(jìn)行超聲波清洗,后一工段緊接著是等離子清洗。兩者沒有誰好誰壞,只是要選擇符合工藝要求的清洗方式而已。