等離子清洗機(plasma cleaner)也叫等離子清潔機，或者等離子表面處理儀，是一種全新的高科技技術，利用等離子體來達到常規(guī)清洗方法無法達到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)，并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子清洗機就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實現(xiàn)清潔、涂覆等目的。

　　等離子體產(chǎn)生的條件：足夠的反應氣體和反應氣壓，反應產(chǎn)物須能高速撞擊清洗物的表面，具有足夠的能量供應，反應后所產(chǎn)生的物質(zhì)必須是可揮發(fā)性的細微結(jié)合物,以便于真空泵將其抽走，泵的容量和速度須足夠大,以便迅速排出反應的副產(chǎn)品,并且需要快速地再填充反應所需的氣體。

　　等離子清洗機為什么會產(chǎn)生臭味？

　　答案是：臭氧在作怪

　　等離子體放電過程中產(chǎn)生臭氧的基本原理是含氧氣體在放電反應器內(nèi)所形成的低溫等離子體氛圍中，一定能量的自由電子將氧分子分解成氧原子，之后通過三體碰撞反應形成臭氧分子，同時也發(fā)生著臭氧的分解反應。

　　臭氧，化學分子式為O3，又稱三原子氧、超氧，因其類似魚腥味的臭味而得名，在常溫下可以自行還原為氧氣。比重比氧大，易溶于水，易分解。由于臭氧是由氧分子攜帶一個氧原子組成，決定了它只是一種暫存狀態(tài)，攜帶的氧原子除氧化用掉外，剩余的又組合為氧氣進入穩(wěn)定狀態(tài)，所以臭氧沒有二次污染。

　　如果我們通入的氣體中含有氧氣，那么在反應過程中就會產(chǎn)生少量的臭氧，正是因為有臭氧的產(chǎn)生，所以我們在使用等離子清洗機的時候有時會聞到一股臭味，這就是為什么等離子清洗機會產(chǎn)生臭味的原因了。