低溫等離子體主要是由氣體放電產生的。根據放電產生的機理，氣體的壓強范圍、電源性質以及電極的幾何形狀、氣體放電等離子體主要分為以下幾種形式：(1)輝光放電；(2)電暈放電：(3)介質阻擋放電；(4)射頻放電；(5)微波放電。由于對諸如氣態(tài)污染物的治理，一般要求在常壓下進行.而能在常壓(105P左右)下產生低溫等離子體的只有電暈放電和介質阻擋放電兩種形式。

　　1輝光放電

　　輝光放電屬于低氣壓放電(low pressured i-charge) 工作壓力一般都低于10mbar， 其構造是在封閉的容器內放置兩個平行的電極板，利用電子對中性原子和分子的激發(fā)，當粒子由激發(fā)態(tài)(excited state向基態(tài)(e round state轉化時會以光的形式釋放出能量.由于輝光放電受低氣壓的限制，工業(yè)應用難于連續(xù)化生產且應用成本高昂.因而無法廣泛地在工業(yè)中應用。

　　2-2電暈放電

　　電暈放電是使用曲率半徑很小的電極，如針狀電極或細線狀電極，并在電極上加高電壓，由于電極的曲率.半徑很小，而靠近電極區(qū)域的電場特別強，電子逸出陽極，發(fā)生非均勻放電，稱為電暈放電。在大氣污染物治理上，電暈放電法多用于煙道氣脫硫和脫硝，也有用電暈放電法去除空氣中揮發(fā)性有機氣體、硫化氫、鹵代烷烴、以及對印染廢水脫色等。

　　3介質阻擋放電

　　介質阻擋放電產生于兩個電極之間，其中至少一個電極上面覆蓋有一層電介質。介質阻擋放電是一種兼有輝光放電的大空間均勻放電和電暈放電的高氣壓運行的特點。由于其電極不直接與放電氣體發(fā)生接觸，從而避免了電極因參與反應而發(fā)生的腐蝕問題。又因其具有電子密度高和可在常壓下運行的特點，所以介質阻擋放電具有大規(guī)模工業(yè)應用的可能性，介質阻擋放電還可應用于準分子紫外光源和環(huán)境中難降解物質的去除。

　　4射頻低溫等離子體放電

　　射頻放電的電極通常安裝在放電空間的外部，通過感應耦合產生等離子體.產生射頻放電心的方式有電容耦合與電感耦合等兩種方式.由于射頻低溫等離子的放電能量高、放電的范圍大，現在已經在材料的表面處理和有毒廢物清除和裂解中得到應用。

　　5滑動電弧放電

　　在兩電極上施加高壓使電極間流動的氣體在電極窄處被擊穿.一旦擊穿發(fā)生電源就以中等電壓提供足以產生強力電弧的大電流，電弧在電極的半橢圓形表面上膨脹，不斷伸長直到不能維持為止.電弧熄滅后重新起弧，周而復始.其視覺觀看滑動電弧放電等離子體就像火焰一般.滑動電弧放電產生的低溫等離子體為脈沖噴射，但可以得到比較寬的噴射式低溫等離子。